远程等离子体可流动CVD腔室的方法及设备
授权
摘要
本文公开的实施例总的来说关于等离子体处理系统。等离子体处理系统包括处理腔室、腔室陈化系统和远程等离子体清洁系统。处理腔室具有界定处理区域和等离子体场的腔室主体。腔室陈化系统耦接到处理腔室。腔室陈化系统经配置而陈化处理区域和等离子体场。远程等离子体清洁系统与处理腔室连通。远程等离子体清洁系统经配置对处理区域和等离子体场进行清洁。
基本信息
专利标题 ：
远程等离子体可流动CVD腔室的方法及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110249406A
申请号 ：
CN201880009192.9
公开（公告）日 ：
2019-09-17
申请日 ：
2018-02-13
授权号 ：
CN110249406B
授权日 ：
2022-05-06
发明人 ：
Y·马D·拉杰M·J·西蒙斯A·波克雷尔G·奇可卡诺夫张轶珍梁璟梅J·D·平松二世D·李J·C·罗查-阿尔瓦雷斯
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
侯颖媖
优先权 ：
CN201880009192.9
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C16/44 C23C16/505
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-06 ：
授权
2019-10-15 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20180213
申请日 : 20180213
2019-09-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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