一种粉末冶金制备钽靶材的烧结夹具和方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种粉末冶金制备钽靶材的烧结夹具和方法，所述烧结夹具由两端可移动的盖板和管组成，所述盖板的直径与管的内直径相同。所述使用烧结夹具的粉末冶金制备钽靶材的方法，包括以下步骤：将烧结夹具中的下盖板放入管的底部后，钽粉在管内进行装模，然后将上盖板放置在钽粉表面组装成为所述烧结夹具并进行压实，再用包套将所述烧结夹具密封并焊合，对包套进行脱气及热等静压，依次去除包套和烧结夹具后得到所述钽靶材；所述烧结夹具解决了钽粉装填密度不高导致的靶材成材率较低的问题，同时缩减了工艺步骤，有效降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种粉末冶金制备钽靶材的烧结夹具和方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114481055A
申请号 ：
CN202210106135.0
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姚力军潘杰王学泽周友平黄洁文吴东青
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
韩承志
优先权 ：
CN202210106135.0
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 B22F3/10 B22F5/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/34
申请日 : 20220128
申请日 : 20220128
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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