跨尺度的气体传感器敏感机理分析与结构优化的仿真方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种跨尺度的气体传感器敏感机理分析与结构优化的仿真方法，涉及传感器仿真技术领域。该方法包括微观尺度建模、介观尺度建模和宏观尺度建模。在微观尺度建模中，在吸附能和电荷转移量的共同作用下，选择出气敏材料理论上具有最高响应的目标气体；在介观尺度建模中，利用格子Boltzmann方法模拟待测气体的扩散；在宏观尺度建模中，建立多层结构的传感器模型，衬底材料为硅，支撑层为SiO2,Si3N4，加热电极、测试电极材料为铂。本发明通过微观，介观，宏观三种维度进行仿真建模分析，提供一种微观‑介观‑宏观的跨尺度，气体传感器气敏机理，气体传质，传感器热力优化的全流程解决方案。
基本信息
专利标题 ：
跨尺度的气体传感器敏感机理分析与结构优化的仿真方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114266173A
申请号 ：
CN202210118856.3
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2022-02-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
苑振宇杨帆孟凡利李毓东张津赫
申请人 ：
东北大学
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市和平区文化路三号巷11号
代理机构 ：
沈阳东大知识产权代理有限公司
代理人 ：
梁焱
优先权 ：
CN202210118856.3
主分类号 ：
G06F30/20
IPC分类号 ：
G06F30/20 G16C60/00 G06F113/08 G06F119/08 G06F119/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06F
电数字数据处理
G06F30/20
设计优化、验证或模拟
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06F 30/20
申请日 : 20220208
申请日 : 20220208
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
