一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法,包括固定部件、水平监测部件、控制部件和自适应调平部件。副炉室升降运动产生倾斜,水平监测部件监测到倾斜角度并与零位对比,并将结果反馈给控制部件。控制部件收集到水平监测部件发出的信号后,处理生成控制数据,并将控制指令发送至自适应调平部件。自适应调平部件中,电机收到控制指令后产生驱动力,经减速机减速后带动丝杆旋转,丝杆带动与丝杆螺母固定的拉力臂沿直线导轨前后运动,带动副炉室上端连接块随拉力臂移动,从而矫正副炉室的倾斜。本发明操作简单耗时少,可实时监测到工作状态下副炉室的倾斜幅度并快速进行自适应调整,有效保证各阶段、各工作状态下的副炉室法兰面水平。

基本信息
专利标题 :
一种单晶炉副炉室调平机构及调平方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114318532A
申请号 :
CN202210131827.0
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2022-02-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
袁华中谢剑舟陈妙荣来迪文朱一鸣史冰冰
申请人 :
浙江精功科技股份有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市柯桥区鉴湖路1809号
代理机构 :
天津知川知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
耿树志
优先权 :
CN202210131827.0
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06  C30B15/00  C30B15/20  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C30B 29/06
申请日 : 20220214
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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