单晶炉副室智能清洁装置
授权
摘要

本实用新型公开一种单晶炉副室智能清洁装置,包括可伸缩支撑部件和储液装置,可伸缩支撑部件上部安装有清洗装置,储液装置通过第一管路与清洗装置连接,第一管路上连接有抽水泵,还包括车体、控制器和电源,车体内底部固定有电机,电机输出轴与转盘底部圆心相连,转盘底部与电机之间安装有加强筋,加强筋固定在电机轴与转盘底部之间;可伸缩支撑部件安装在转盘上,其顶部安装有第一距离传感器,其下部安装有接水装置,该接水装置直径大于副室内径,第一距离传感器、电机、抽水泵、电源均与控制器电连接。本实用新型智能化程度高,操作方便、简单,能够有效地避免清洗液滴落到地面,清洁更加彻底,且适用于多种直径的副室。

基本信息
专利标题 :
单晶炉副室智能清洁装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122441697.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-10-11
授权号 :
CN216175031U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
佘辉郭晓琛李远田
申请人 :
徐州美芯半导体材料科技有限公司;江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202122441697.4
主分类号 :
B08B9/08
IPC分类号 :
B08B9/08  B08B9/087  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/08
清洗容器,如槽的清洗
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332