一种插板阀装置及真空镀膜设备
实质审查的生效
摘要
本发明涉及插板阀技术领域，具体公开了一种插板阀装置及真空镀膜设备，该插板阀装置包括支架、传动机构、密封件和若干驱动件，其中，若干驱动件的固定端均与支架固定连接，且若干驱动件沿支架的长度方向间隔设置，若干驱动件的输出端均与传动机构传动连接，且若干驱动件能够驱动传动机构沿Z轴方向移动，密封件与传动机构传动连接，当传动机构沿Z轴方向移动时，能够驱动密封件沿Y轴方向移动，以使密封件能够与真空腔的开口密封连接，在增加密封盖板的长度的同时能够保证密封性能。
基本信息
专利标题 ：
一种插板阀装置及真空镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114321420A
申请号 ：
CN202210132252.4
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-02-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李伟胡宇航
申请人 ：
昆山晟成光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市巴城镇迎宾西路1601号C2栋
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
邱锴文
优先权 ：
CN202210132252.4
主分类号 ：
F16K3/02
IPC分类号 ：
F16K3/02 F16K3/314 C23C16/44 C23C14/56 C23C14/22
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K3/00
闸门阀或滑阀，即带闭合元件的切断装置，闭合元件为了开启和关闭有沿阀座的滑动
F16K3/02
带有平的密封面；其所用填料
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 3/02
申请日 : 20220214
申请日 : 20220214
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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