阵列基板及其制作方法、显示面板
公开
摘要
本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板，涉及显示技术领域，阵列基板包括衬底和设置于衬底上的多个晶体管；晶体管包括设置于衬底同一侧的有源层和栅极，有源层位于栅极和衬底之间；至少部分晶体管中，栅极包括沿垂直于衬底的方向层叠设置且电连接的第一金属部和第二金属部，第二金属部位于第一金属部背离衬底的一侧；有源层包括沟道区和位于沟道区两侧的第一掺杂区，沿垂直于衬底的方向，第一金属部与沟道区重合，第二金属部与沟道区交叠且与第一掺杂区不交叠；至少部分第二金属部复用作形成第一掺杂区的掩膜板。如此，既有利于简化至少部分晶体管的制作工艺，又有利于提升有源层中不同区域的位置精准性。
基本信息
专利标题 ：
阵列基板及其制作方法、显示面板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613854A
申请号 ：
CN202210140996.0
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-02-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
章凯迪林柏全王林志黄钰坤龚顺席克瑞
申请人 ：
上海天马微电子有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区汇庆路888、889号
代理机构 ：
北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
于淼
优先权 ：
CN202210140996.0
主分类号 ：
H01L29/423
IPC分类号 ：
H01L29/423 H01L29/78 H01L27/32 H01L21/28 H01L21/266 H01L21/336
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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