一种硅棒支撑装置、截断机和截断方法
实质审查的生效
摘要
一种硅棒支撑装置、截断机和截断方法,属于半导体材料加工领域。支撑装置包括平台、第一支撑机构和第二支撑结构。其中,平台定义有第一预设方向和第二预设方向。第一支撑机构具有第一支撑件和第一支撑体,第一支撑体通过第一支撑件以第一方式连接于平台。第二支撑机构具有第二支撑件和第二支撑体,第二支撑体通过第二支撑件以第二方式连接于平台。第一支撑体的第一曲面和第二支撑体的第二曲面,分别以相对于平台沿第一预设方向的各自的高度、各自的俯仰角以及沿第二预设方向的各自的连接位置可调进行配合。上述硅棒支撑装置能够对直拉法拉制的单晶硅棒的具有锥形面的头尾进行有效的支撑,从而可以在截断硅棒的头尾时避免发生崩边或晶裂。
基本信息
专利标题 :
一种硅棒支撑装置、截断机和截断方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114425822A
申请号 :
CN202210146423.9
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2022-02-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
新美光(苏州)半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹东路188号方正科技园北区C幢103
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
吕露
优先权 :
CN202210146423.9
主分类号 :
B28D7/04
IPC分类号 :
B28D7/04 B28D7/00 B28D5/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
B28D7/04
用于支承或夹持工件的
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 7/04
申请日 : 20220217
申请日 : 20220217
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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