本发明提供一种适用于机器人手的触觉柔性传感器及其制备方法，触觉柔性传感器包括上绝缘极板、中间介电极层和下导电极板，上绝缘极板为含固化剂的液体橡胶混炼制成的绝缘纯橡胶柔性基底，中间介电极层为半导体复合材料制成，中间介电极层包括银电极以及由纳米导电材料/液态高分子材料混合成胶状黏稠物固化成型的回折形激励线圈，银电极和回折形激励线圈形成在上绝缘柔性极板表面，银电极与回折形激励线圈的两端电连接形成回路，下导电极板为固黏在银电极和回折形激励线圈上的导电橡胶，导电橡胶由液体橡胶、固化剂、导电填料和稀释剂混炼制成。本触觉柔性传感器具有良好的柔性、高弹性及触摸压力和触摸间隙敏感性，稳定性好，制备工艺简单。