一种用于气体检测的声表面波横向耦合谐振器
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摘要

本发明提供一种用于气体检测的声表面波横向耦合谐振器,属于气体检测设备技术领域。包括:压电基片、沿压电基片长度方向相对设置的第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵,以及,沿压电基片宽度方向相对设置且位于第一金属反射栅阵和第二金属反射栅阵之间的输入换能器和输出换能器;并且,声表面波横向耦合谐振器通带内两个低阶横向模式的谐振频率相匹配。本发明谐振器为横向耦合SAW谐振器结构,通过设计该谐振器通带内两个低阶横向模式的谐振频率极其接近,使器件幅频响应曲线呈现出单一峰值的现象,从而避免振荡器的谐振频率发生跳变的可能,实现横向耦合SAW谐振器低损耗、高Q值、单一模式控制,有助于提升传感器检测灵敏度、一致性与稳定性。

基本信息
专利标题 :
一种用于气体检测的声表面波横向耦合谐振器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114204914A
申请号 :
CN202210157015.3
公开(公告)日 :
2022-03-18
申请日 :
2022-02-21
授权号 :
CN114204914B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
齐晓琳刘建生李霄洪力杨凝戴扬汪志强
申请人 :
中国电子科技集团公司信息科学研究院
申请人地址 :
北京市海淀区四道口北街36号院4号楼
代理机构 :
北京中知法苑知识产权代理有限公司
代理人 :
李明
优先权 :
CN202210157015.3
主分类号 :
H03H9/02
IPC分类号 :
H03H9/02  H03H9/145  H03H9/25  
法律状态
2022-06-14 :
授权
2022-04-05 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20220221
2022-03-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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