具有减少的横向模式的BAW谐振器
实质审查的生效
摘要
提供了一种具有减少的横向模式的BAW谐振器(RN)。该谐振器具有底部电极(BE)、压电材料(PM)和顶部电极(TE)的有源堆叠，并且该有源堆叠的至少一个元件具有弯曲侧壁(CSW)。两个或更多个弯曲侧壁可以被布置在具有不同半径的椭圆形印迹的球体上、在圆柱体或棱柱体上。
基本信息
专利标题 ：
具有减少的横向模式的BAW谐振器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114270705A
申请号 ：
CN202080052679.2
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2020-07-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
F·洛克纳E·米勒
申请人 ：
RF360欧洲有限责任公司
申请人地址 ：
德国慕尼黑
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
王茂华
优先权 ：
CN202080052679.2
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/13 H03H9/17
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20200724
申请日 : 20200724
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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