一种高效散热金刚石印刷电路板的制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明为一种高效散热金刚石印刷电路板的制备方法,属于金刚石电路板技术领域。本发明电路板是以高纯度金刚石作为基体层,B掺杂的导电金刚石为电路层。制备方法是,利用化学气相沉积法首先在基体上制备绝缘金刚石层,然后在沉积环境中加入含B的气体,沉积B掺杂导电金刚石层,再通过刻蚀法去除基体,进一步利用光刻技术在B掺杂导电金刚石层上刻出电路,最后采用高温热处理或者等离子刻蚀法去除光刻过程中产生的石墨等杂质。本发明采用化学气相沉积法依次沉积绝缘金刚石层和B掺杂导电金刚石电路层,操作方法简便,层间不存在界面突变,结合性能优异,同时全金刚石结构,具有高导热、高强度、耐腐蚀等优点。

基本信息
专利标题 :
一种高效散热金刚石印刷电路板的制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114501828A
申请号 :
CN202210158068.7
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-02-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
于盛旺吴艳霞黑鸿君郑可马永高洁王永胜公彦鹏
申请人 :
太原理工大学
申请人地址 :
山西省太原市迎泽西大街79号
代理机构 :
太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张宏
优先权 :
CN202210158068.7
主分类号 :
H05K3/18
IPC分类号 :
H05K3/18  H05K3/06  H05K3/26  C23C16/27  C23C16/56  
法律状态
2022-05-31 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H05K 3/18
申请日 : 20220221
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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