本申请实施方式的检测方法包括在待测件的待测部位于检测设备的视场范围内的情况下，通过检测设备进行第一检测，以获取来自待测部的第一辐射，并根据第一辐射获取待测部的第一检测信息；根据第一检测信息，确定待测部与目标位置在垂直于检测设备辐射的中心轴的平面内的位置偏差；根据位置偏差使待测件与检测设备相对移动，以使待测部与目标位置重合；在待测部与目标位置重合之后，通过检测设备对待测部进行第二检测，获取待测部的待测信息。本申请实施方式的检测方法、检测装置、检测设备和非易失性计算机可读存储介质，可提高后续待测部的检测准确性，从而提高待测件不同层的对准误差的准确性、重复性和稳定性，并提高针对多层待测件测量的效率。