本申请涉及多晶硅、单晶硅生产技术领域，具体公开了一种改性活性炭载体、液相氯硅烷除杂吸附剂及该吸附剂的生产工艺。改性活性炭载体的生产工艺为：利用硝酸溶液对活性炭进行氧化改性，过滤烘干后得到改性活性炭载体。应用该改性活性炭载体的吸附剂的生产工艺为：将有机活性组分分散在溶剂中，配制浸渍溶液；然后将改性活性炭载体加入浸渍溶液中进行浸渍，得到吸附剂前驱体；烘干吸附剂前驱体，制得液相氯硅烷除杂吸附剂。本申请生产得到的吸附剂对液相氯硅烷中的硼、磷化合物杂质具有优异的吸附效果，有助于提高液相氯硅烷的纯度；同时该吸附剂在实际应用过程中的更换周期较长，且耗能较小，契合工业化生产需求。