一种用于消除体声波谐振器杂散模态的结构
实质审查的生效
摘要
本发明提出了一种用于消除体声波谐振器杂散模态的结构。所述消除体声波谐振器杂散模态的结构包括衬底、底电极、压电薄膜和一边为圆弧的非平行四边形结构的顶电极；所述衬底上设置有底电极；所述底电极上设置有压电薄膜；所述压电薄膜上设置有所述顶电极。本发明提出的结构具有消除体声波谐振器在振动过程中产生的杂散模量的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于消除体声波谐振器杂散模态的结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114520639A
申请号 ：
CN202210171387.1
公开（公告）日 ：
2022-05-20
申请日 ：
2022-02-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
深圳新声半导体有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新南一道中科大厦508
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210171387.1
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02
法律状态
2022-06-07 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/02
申请日 : 20220224
申请日 : 20220224
2022-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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