可视化的真空阴极磁过滤装置
实质审查的生效
摘要
本发明一种可视化的真空阴极磁过滤装置,包括管道,所述管道上开设至少一个第一镶嵌口,所述第一镶嵌口上嵌设有透明板,所述透明板沿管道长度方向延伸,所述透明板与第一镶嵌口相对密封固定,所述透明板呈双层透明结构,所述透明板包括内层透明板和外层透明板,所述内层透明板与所述外层透明板之间的空间形成第一冷却水通道,所述外层透明玻璃板上设有进水口和出水口,所述进水口和出水口与所述第一冷却水通道连通。该设计通过在管道上设计透明板,可以更好地观察和测量实验参数对靶面弧斑运动、金属或气体离化率、等离子体密度、金属离化能量、涂层性能的定向定量分析,有利于改进和更新工艺设计。
基本信息
专利标题 :
可视化的真空阴极磁过滤装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114457310A
申请号 :
CN202210184605.5
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-02-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
曹时义周敏王俊锋
申请人 :
广东鼎泰高科技术股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市厚街镇赤岭工业一环路12号之一2号楼102室
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
王志
优先权 :
CN202210184605.5
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32 C23C14/52
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/32
申请日 : 20220228
申请日 : 20220228
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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