单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统
公开
摘要
本发明属于单晶炉技术领域，具体的说是单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统，包括提升腔、从动带轮、安装板、上水平调整座和下水平调整座；所述提升腔下端固接从动带轮，从动带轮转动安装在安装板的上表面，安装板的下表面通过多个称重传感器连接上水平调整座，上水平调整座下方通过多个支撑柱连接下水平调整座；通过十字调平衡单元与称重传感器之间的配合，称重传感器反馈信号的差异判断重心偏移位置，称重传感器可采用轮辐式称重传感器，并由此实时监测整体提升腔下方提拉头是否处于平衡状态。
基本信息
专利标题 ：
单晶炉籽晶提升动态重心监测自平衡系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114574951A
申请号 ：
CN202210194834.5
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-03-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
尹嘉琦曹玉宝江佳飞辛珊
申请人 ：
连城凯克斯科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210194834.5
主分类号 ：
C30B15/28
IPC分类号 ：
C30B15/28 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/20
控制或调节
C30B15/22
被拉晶体附近熔融区的稳定化或形状控制；晶体截面的控制
C30B15/28
利用晶体或熔体重量变化的，例如浮称法
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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