光栅刀具刀尖角测量装置及其测量方法
公开
摘要
本发明提供一种光栅刀具刀尖角测量装置及其测量方法，其中的测量装置包括一基板；固定在基板一侧的刀架调节机构，用于调节并固定光栅刀具的位置；固定在基板上与刀架调节机构同侧的光源，用于向光栅刀具发出测量光束；与基板转动连接的光信号接收系统，用于以转动的方式接收光栅刀具的定向面和非定向面的反射光；固定在基板另一侧的圆光栅测量系统，用于测量光信号接收系统从接收定向面的反射光到接收非定向面的反射光所发生的角位移量θ，则光栅刀具的刀尖角为本发明能够直接对光栅刀具的刀尖角进行测量，提高刀尖角的测量精度，保证光栅刀具对铝膜的挤压效果，提升大尺寸中阶梯光栅的制作效率。
基本信息
专利标题 ：
光栅刀具刀尖角测量装置及其测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114608483A
申请号 ：
CN202210241246.2
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
糜小涛江思博周敬萱高键翔李晓天吉日嘎兰图李文昊江锐徐向宇刘广义
申请人 ：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;北京科益虹源光电技术有限公司
申请人地址 ：
吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
代理机构 ：
长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高一明
优先权 ：
CN202210241246.2
主分类号 ：
G01B11/26
IPC分类号 ：
G01B11/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/26
•用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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