分段式真空作业设备及其使用方法
实质审查的生效
摘要

本发明涉及真空设备技术领域,本发明具体公开了一种分段式真空作业设备及其使用方法,分段式真空作业设备包括:进料腔室设置在作业腔室的一侧,进料腔室与作业腔室之间设有第一气动门,第一气动门用于打开或关闭作业腔室,出料腔室设置在作业腔室的另一侧,出料腔室与作业腔室之间设有第二气动门,第二气动门用于打开或关闭作业腔室,作业腔室与双级泵通过第一真空管道相连接,进料腔室与双级泵通过第二真空管道相连接,出料腔室与双级泵通过第三真空管道相连接;维持泵与作业腔室通过维持真空管道相连接;进料腔室的体积为V1,作业腔室的体积为V2,出料腔室的体积为V3,V2>V1=V3。本发明不仅可以降低功耗,节能减排,降低噪音,还有利于提高生产效率。

基本信息
专利标题 :
分段式真空作业设备及其使用方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114412752A
申请号 :
CN202210309204.8
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-03-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈鹏曲东升姜鹏陈星王洪兵
申请人 :
常州铭赛机器人科技股份有限公司
申请人地址 :
江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城铭赛科技大厦
代理机构 :
常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
朱丽莎
优先权 :
CN202210309204.8
主分类号 :
F04B37/14
IPC分类号 :
F04B37/14  F04B25/00  F04B39/00  F04B49/22  E06B3/44  E05D15/16  E05F15/57  B05C15/00  B05C5/02  B05C13/00  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/10
用于特殊用途
F04B37/14
获得高真空
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F04B 37/14
申请日 : 20220328
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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