本发明提供一种用于光伏行业脆性材料热应力无损划片的工艺方法，涉及光伏材料技术领域。包括以下步骤：S1、准备一号开槽激光、二号加热激光以及喷雾设备；S2、取电池片采用平台真空吸附，将电池片平整均匀的吸附在平台上，并对电池片定位及外观检测；S3、在电池片头部激光标刻出头部引导槽标线，并且在电池片尾部激光标刻出尾部引导槽标线；S4、一号开槽激光通过标刻的头部引导槽标线与尾部引导槽标线对电池片头部和尾部开槽，电池片上形成头部引导槽以及尾部引导槽。本发明，采用激光开槽建立引导区，控制热应力在电池片开头和结尾的热应力释放方向，采用加热激光及喷雾冷却的方式实现热应力的形成，达到自然裂开的目的。