一种光探测器、光探测器的制备方法及其响应度调控方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种光探测器、光探测器的制备方法及其响应度调控方法，涉及光探测器技术领域，以解决光探测器的响应度不具有非易失性的问题。所述光探测器包括：衬底。形成在衬底上的功能层。形成在功能层上的两个电极。形成在功能层位于两个电极之间的部位上的透光保护层。以及形成在透光保护层内的GST相变层。所述光探测器的制备方法包括上述技术方案所提的光探测器。本发明提供的光探测器的制备方法用于制备光探测器。
基本信息
专利标题 ：
一种光探测器、光探测器的制备方法及其响应度调控方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114512568A
申请号 ：
CN202210414043.9
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2022-04-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王子栋王辰阳孔庆凯辛宏伟
申请人 ：
北京中科海芯科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区西三旗建材城内3幢二层258号
代理机构 ：
北京鼎承知识产权代理有限公司
代理人 ：
夏华栋
优先权 ：
CN202210414043.9
主分类号 ：
H01L31/102
IPC分类号 ：
H01L31/102 H01L31/0216 H01L31/18
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/102
申请日 : 20220420
申请日 : 20220420
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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