一种压电调谐F-P滤波器的高精度装调系统、装调及调谐方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种压电调谐F‑P滤波器的高精度装调系统、装调及调谐方法，通过二维精密测角模块测量F‑P滤波器内动腔镜和定腔镜相对反射镜面之间的二维倾角，测量结果可以溯源到激光波长，测量精度极高；通过六维精密调整模块根据二维精密测角模块所测量的F‑P滤波器内动腔镜和定腔镜相对反射镜面之间的二维倾角带动F‑P腔内动腔镜，实现F‑P腔内两反射镜面之间的平行度和初始腔长的精确调整，其中：平行度调节精度可以达到量级，腔长调节精度可以达到nm量级。本发明所提供的压电调谐F‑P滤波器的高精度装调系统结构简单，具备较高的自动化装调能力，可以大大降低压电调谐F‑P滤波器的装调难度，并大大提高装调效率。
基本信息
专利标题 ：
一种压电调谐F-P滤波器的高精度装调系统、装调及调谐方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114545702A
申请号 ：
CN202210420408.9
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-04-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
丛蕊王义坤孟令强杨秋杰边伟贾建军王建宇
申请人 ：
国科大杭州高等研究院
申请人地址 ：
浙江省杭州市西湖区象山支弄1号
代理机构 ：
浙江杭州金通专利事务所有限公司
代理人 ：
邓世凤
优先权 ：
CN202210420408.9
主分类号 ：
G02F1/21
IPC分类号 ：
G02F1/21 G01M11/02 G01B11/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/21
应用干涉作用的
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02F 1/21
申请日 : 20220421
申请日 : 20220421
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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