盘盖及其控制方法和烘烤设备
公开
摘要
本发明提供了一种盘盖，包括导流件、进气通道、排气通道、第一盘盖件、第二盘盖件和排气导流板；第一盘盖件和第二盘盖件的表面之间形成进气腔体，第二盘盖件的表面与排气导流板的凹槽形成排气腔体，使得气体经过所述进气通道和所述进气腔体进入晶圆所在区域；并使得挥发物从晶圆所在区域经所述排气腔体和所述排气通道排出。排气导流板能够增大排风吸力，改善排风的均匀性，有利于排出烘烤腔室内的挥发物。本发明还提供了一种盘盖的控制方法和应用该盘盖的烘烤设备。
基本信息
专利标题 ：
盘盖及其控制方法和烘烤设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114594665A
申请号 ：
CN202210500288.3
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-05-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邓岗程虎
申请人 ：
上海芯源微企业发展有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区临港新片区旭日路501号1幢201、202室
代理机构 ：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄海霞
优先权 ：
CN202210500288.3
主分类号 ：
G03F7/38
IPC分类号 ：
G03F7/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/26
感光材料的处理及其设备
G03F7/38
去除影像之前的处理，例如，预烘干
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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