监控光学镀膜厚度的双光束光学系统
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要
监控光学镀膜厚度的双光束光学系统形式上和已有的透射式单光束光学系统相同，差别是在角可变滤光片(或单色仪出狭缝)之后置一块等双孔光栏，分单束光为参考和测量两束光，再用双排孔调制扇分别调制这两束光，使测量光束通过监控片，使参考光束从监控片旁边通过，于是构成全对称透射式双光束光学系统。它使电子学系统容易解决基线平直度、漂移、噪声、杂光信号和电磁场信号干扰，以致于真空室窗口溅射膜的影响都可以完全消除。
基本信息
专利标题 ：
监控光学镀膜厚度的双光束光学系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85101725A
申请号 ：
CN85101725.8
公开（公告）日 ：
1986-08-06
申请日 ：
1985-04-01
授权号 ：
CN85101725B
授权日 ：
1987-10-07
发明人 ：
王占青
申请人 ：
中国科学院长春光学精密机械研究所
申请人地址 ：
吉林省长春市斯大林大街112号
代理机构 ：
中国科学院长春专利事务所
代理人 ：
刘树清
优先权 ：
CN85101725.8
主分类号 ：
G01B11/06
IPC分类号 ：
G01B11/06 C23C14/54
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
1992-08-26 ：
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1988-04-27 ：
授权
1987-10-07 ：
审定
1986-08-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
