一种变间距刻划的方法及装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种变间距刻划的方法及装置，属于光电控制机械刻划领域中的变间距刻划，尤其是变间距光栅的机械刻划。用相干光源、分束器件和平面变间距样板组成干涉仪系统，控制工作台做变间距或变速运动。本发明简单易行，准确可靠、对最小变化量无限制、且可实现多种间距变化形式。
基本信息
专利标题 ：
一种变间距刻划的方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN87102780A
申请号 ：
CN87102780.1
公开（公告）日 ：
1988-10-19
申请日 ：
1987-04-10
授权号 ：
CN1008404B
授权日 ：
1990-06-13
发明人 ：
张庆英花清印
申请人 ：
中国科学院长春光学精密机械研究所
申请人地址 ：
吉林省长春市斯大林大街112号
代理机构 ：
中国科学院长春专利事务所
代理人 ：
刘树清
优先权 ：
CN87102780.1
主分类号 ：
G02B27/32
IPC分类号 ：
G02B27/32 B25H7/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
G02B27/32
在光学系统内的基准标记和测量度盘
法律状态
1994-02-09 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1991-01-30 ：
授权
1990-06-13 ：
审定
1988-10-19 ：
公开
1988-01-13 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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