处理工艺排气的方法，待处理的工艺排气同时或在短时间内与再循环颗粒及再循坏气体一起混合。颗粒是从处理过的工艺排气中分离出并大部分返回循环使用。再循环气体至少有一部分是处理过并从中分离了颗粒的工艺排气。与待处理气体混合的两种组分(即颗粒与气体)中。至少有一种组分的温度要低于待处理的气体。用于处理工艺排气的设备。包括一反应器，其底板有工艺排气入口，其中有一具有锥底形的混合室，锥底的最低点有一入口，可供与工艺排气混合的气体或可挥发液体进入，还有固体颗粒入口管设置于混合室的侧壁。