非接触式激光干涉比较仪
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要
一种非接触激光干涉比较仪，采用临界角法非接触光触针定位，和迈克尔逊干涉测量系统及光电转换数字显示系统，在测量时测头不接触工件表面，对高精度或非金属材料表面进行比较测量时，不会损坏被测表面，同时测量结果可自动显示，测量精度高、操作方便。
基本信息
专利标题 ：
非接触式激光干涉比较仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN89202126.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1989-03-03
授权号 ：
CN2045841U
授权日 ：
1989-10-11
发明人 ：
刘兴占
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
章瑞溥
优先权 ：
CN89202126.8
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01B11/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
1992-06-24 ：
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1990-05-23 ：
授权
1989-10-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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