一种非接触式硬盘表面粗糙度测量方法
专利申请的视为撤回
摘要
非接触式硬盘表面粗糙度测量方法特别适用于超精加工表面粗糙度非接触测量，该方法用锯齿波调制相位实现移相法干涉测量，用电荷耦合固体成象器件扫描接受干涉图象，用微型计算机计算扫描各点初相位及微观轮廓高度，从而测量被测表面12以上全部国家标准的粗糙度参数。
基本信息
专利标题 ：
一种非接触式硬盘表面粗糙度测量方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1069804A
申请号 ：
CN91105893.1
公开（公告）日 ：
1993-03-10
申请日 ：
1991-08-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈家壁张正泽王菊香仉浆铭姚彩仙李柱
申请人 ：
华中理工大学
申请人地址 ：
430074湖北省武汉市武昌珞喻路151号
代理机构 ：
华中理工大学专利事务所
代理人 ：
骆如碧
优先权 ：
CN91105893.1
主分类号 ：
G01B11/30
IPC分类号 ：
G01B11/30 G01B21/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
1994-11-16 ：
专利申请的视为撤回
1993-03-10 ：
公开
1992-02-12 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
