获得固体表面元素分布图的方法

专利申请的视为撤回

摘要

本发明属固体表面分析技术领域，是一种获得固体表面元素分布图的新方法。它根据出现电势谱的原理和扫描电镜能产生聚焦电子束的特性，提出了扫描出现电势谱的方法，即先用散焦的电子束轰击样品表面，电子能量从小到大作线性变化，用二次电子探头接收二次电子，获知样品表面的元素成分。然后将电子束能量固定在该元素信号的出峰位置处，用聚焦的电子束在固体表面逐点二维扫描，获得表面元素分布二维图象。本发明方法简单、准确，不需要复杂的能量分析器。

基本信息

专利标题：

获得固体表面元素分布图的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1073014A

申请号：

CN92108617.2

公开（公告）日：

1993-06-09

申请日：

1992-10-28

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

华中一张强基陆明

申请人：

复旦大学

申请人地址：

200433上海市邯郸路220号

代理机构：

复旦大学专利事务所

代理人：

陆飞

优先权：

CN92108617.2

主分类号：

G01N27/62

IPC分类号：

G01N27/62