面向微机电系统精密作业的微小型移动机器人系统，它涉及一种机器人系统。本发明的目的是为解决现有机器人体积大，由多个零件组成，很难实现模块化设计，通用性差的问题。本发明的微移动定位单元2设置在宏移动定位单元1内，过渡连接板4固定在微移动定位单元2的上侧，连接立柱5的下端与过渡连接板4的上侧固定连接，连接立柱5的上端与微操作器单元6的下侧固定连接，力矩电机3与宏移动定位单元1固定连接。本发明具有体积小，重量轻、成本低的优点，环境适应能力强，实用范围广，能轻易地从一个系统移植到另一个系统中。本发明宏运动最大速度为50mm/s，定位精度为0.1mm，微运动最大运动速度可达0.5mm/s，分辨率可达50nm，定位精度可达0.1um，有效负载可达300g。