驱动装置及曝光装置
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明提供一种可利用比较小型的机构降低驱动部的发热量，且降低驱动时的反作用力的驱动装置。沿Z轴导向装置55A移动自如地安装滑块53A及58A，并在滑块53A上固定遮蔽装置21及可动元件54A，且利用滑块58A支持固定元件60A，并在含有半径比不同的滑轮48A及49A的平衡轮机构51A上，分别通过钢带62A及63A连结滑块53A及固定元件60A。利用可动元件54A及固定元件60A所构成的线性电动机61A，将遮蔽装置21沿垂直线进行驱动。
基本信息
专利标题 ：
驱动装置及曝光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1773380A
申请号 ：
CN200510109154.5
公开（公告）日 ：
2006-05-17
申请日 ：
2005-10-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
蛯原明光
申请人 ：
株式会社尼康
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
寿宁
优先权 ：
CN200510109154.5
主分类号 ：
G03F7/23
IPC分类号 ：
G03F7/23 G03F7/20 H01L21/027
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
G03F7/22
用同一光学图像使同一表面的不同位置依次曝光
G03F7/23
相应的自动装置
法律状态
2010-02-24 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-09-12 ：
实质审查的生效
2006-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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