一种p型或n型氧化锌薄膜及其制备方法
专利权的终止
摘要
本发明属功能材料技术领域，具体为一种p型/n型氧化锌薄膜及其制备方法。该薄膜的制备过程是：采用硅(100)作为基底，将其在一水平放置的石英管中加热到设定温度，在将盛有醋酸锌的陶瓷舟推入石英管加热，使其挥发分解，利用空气作为载运气体，将醋酸锌蒸汽输运至硅基底，使其分解沉积成膜。此方法制备的ZnO薄膜具有高载流子浓度，低电阻率特性，且可以通过温度控制，选择制备p型或n型薄膜。
基本信息
专利标题 ：
一种p型或n型氧化锌薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1812134A
申请号 ：
CN200510111068.8
公开（公告）日 ：
2006-08-02
申请日 ：
2005-12-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王云涛张昕吴晓京
申请人 ：
复旦大学
申请人地址 ：
200433上海市邯郸路220号
代理机构 ：
上海正旦专利代理有限公司
代理人 ：
陆飞
优先权 ：
CN200510111068.8
主分类号 ：
H01L31/0224
IPC分类号 ：
H01L31/0224 H01L31/0296 H01L29/22 H01L21/205 C23C16/448 C23C16/52
法律状态
2013-01-30 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101389928277
IPC(主分类) : H01L 31/0224
专利号 : ZL2005101110688
申请日 : 20051201
授权公告日 : 20081022
终止日期 : 20111201
号牌文件序号 : 101389928277
IPC(主分类) : H01L 31/0224
专利号 : ZL2005101110688
申请日 : 20051201
授权公告日 : 20081022
终止日期 : 20111201
2008-10-22 ：
授权
2006-12-13 ：
实质审查的生效
2006-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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