具有执行器的半导体装置
专利权的终止
摘要
提供一种具有执行器的半导体装置，其中具有半导体基板；在上述半导体基板的上方设置空间进行配置，具有下部电极及上部电极和夹在这些下部电极及上部电极之间的压电体层，在上述下部电极、上述上部电极及上述压电体层之中至少上述压电体层的整个表面大致是平坦的执行器。
基本信息
专利标题 ：
具有执行器的半导体装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1790751A
申请号 ：
CN200510119434.4
公开（公告）日 ：
2006-06-21
申请日 ：
2005-11-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
大黑达也池桥民雄松尾美惠关根秀一
申请人 ：
株式会社东芝
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
岳耀锋
优先权 ：
CN200510119434.4
主分类号 ：
H01L29/84
IPC分类号 ：
H01L29/84 H01L41/08 B81B7/02 B81B3/00
法律状态
2014-01-08 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101560123297
IPC(主分类) : H01L 29/84
专利号 : ZL2005101194344
申请日 : 20051111
授权公告日 : 20090415
终止日期 : 20121111
号牌文件序号 : 101560123297
IPC(主分类) : H01L 29/84
专利号 : ZL2005101194344
申请日 : 20051111
授权公告日 : 20090415
终止日期 : 20121111
2009-04-15 ：
授权
2006-08-16 ：
实质审查的生效
2006-06-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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