Ag类反射膜及其制作方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要

本发明提供一种即使在苛刻的耐蚀性试验中,反射率也不会劣化的Ag类合金膜及其制作方法。在纯Ag膜或AgAu类、AgAuSn类、AgPd类、AgPdCu类合金膜上,层压由选自ITO、ZnO、IZO以及SnO2的金属氧化物、Si、Al、Ti以及Ta的氧化物、和Si、Al、Ti以及Ta的氮化物的材料构成的膜厚为3~50nm的膜作为极薄的覆盖层,形成2层膜。

基本信息
专利标题 :
Ag类反射膜及其制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1818136A
申请号 :
CN200510121686.0
公开(公告)日 :
2006-08-16
申请日 :
2005-09-29
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
浮岛祯之石桥晓斋藤茂金丰
申请人 :
株式会社爱发科;爱发科材料股份有限公司
申请人地址 :
日本神奈川
代理机构 :
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 :
陈昕
优先权 :
CN200510121686.0
主分类号 :
C23C30/00
IPC分类号 :
C23C30/00  C22C5/06  C23C14/14  C23C14/34  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C30/00
仅以金属材料组成为特征的金属材料镀覆,即不以镀覆工艺为特征
法律状态
2011-01-26 :
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101063329710
IPC(主分类) : C23C 30/00
专利申请号 : 2005101216860
公开日 : 20060816
2007-11-07 :
实质审查的生效
2006-08-16 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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