通过精确的晶片定位对准消除系统处理的成品率下降

专利权的终止

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摘要

一种用于半导体处理的方法，包括在半导体制造过程中所用的执行处理步骤成品率下降与半导体基板的机械定位相关，并根据所述相关性，将半导体基板设置于具有足够定位精确度的位置，使成品率下降减小到预定临界值之下。

基本信息

专利标题：

通过精确的晶片定位对准消除系统处理的成品率下降

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1822345A

申请号：

CN200510137329.3

公开（公告）日：

2006-08-23

申请日：

2005-11-21

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

克里斯托弗·德瓦尼查尔斯·E·文迪蒂

申请人：

里士满英飞凌科技公司

申请人地址：

美国弗吉尼亚州

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

陈瑞丰

优先权：

CN200510137329.3

主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/68

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01L

半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件

H01L21/00

专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备

H01L21/67

专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置

H01L21/68

用于定位、定向或对准的

法律状态

2017-01-04 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101695912435
IPC(主分类) : H01L 21/68
专利号 : ZL2005101373293
申请日 : 20051121
授权公告日 : 20080416
终止日期 : 20151121

2016-01-13 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101726681952
IPC(主分类) : H01L 21/68
专利号 : ZL2005101373293
登记生效日 : 20151225
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 奇梦达股份公司
变更后权利人 : 英飞凌科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 德国慕尼黑
变更后权利人 : 德国瑙伊比贝尔格市

2011-11-16 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101207116986
IPC(主分类) : H01L 21/68
专利号 : ZL2005101373293
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 奇梦达北美公司
变更后权利人 : 奇梦达股份公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国北卡罗来纳州
变更后权利人 : 德国慕尼黑
登记生效日 : 20110923

2011-11-16 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101207116985
IPC(主分类) : H01L 21/68
专利号 : ZL2005101373293
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 里士满英飞凌科技公司
变更后权利人 : 奇梦达北美公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 美国弗吉尼亚州
变更后权利人 : 美国北卡罗来纳州
登记生效日 : 20110923

2008-04-16 ：

授权

2006-10-18 ：

实质审查的生效

2006-08-23 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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