衬底键合用对准定位夹具

授权

摘要

本实用新型涉及一种对准定位夹具，尤其是一种衬底键合用对准定位夹具，属于晶圆键合定位的技术领域。在下压头上设置衬底切边弹性销以及衬底外缘弹性销，在底座上设置弹性阻尼旋转机构，利用弹性切边弹性销、衬底外缘弹性销以及弹性阻尼旋转机构的衬底挡片与衬底的相应接触配合，能实现将衬底锁定在下压头上，实现两块衬底的对准定位，为后续衬底的键合提供保障，提高键合效率以及键合良率，使用方便，安全可靠。

基本信息

专利标题：

衬底键合用对准定位夹具

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020430103.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-30

授权号：

CN211805753U

授权日：

2020-10-30

发明人：

王云翔冒薇段仲伟马冬月祝翠梅姚园许爱玲

申请人：

苏州美图半导体技术有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A7-506

代理机构：

苏州国诚专利代理有限公司

代理人：

韩凤

优先权：

CN202020430103.2

主分类号：

B25B11/00

IPC分类号：

B25B11/00