本实用新型涉及一种工艺夹具，尤其是一种多个方片式衬底用工艺夹具，属于衬底加工的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述多个方片式衬底用工艺夹具，包括能同时收纳多个方片衬底的衬底托盘以及与所述衬底托盘固定连接的托盘手柄；所述衬底托盘包括两个对应分布的放片托，在每个放片托对应相邻的内侧均设置能与方片衬底适配的放片槽；通过两个放片托上相对应的放片槽形成能满足方片衬底竖向放置的衬底竖向嵌置槽，两个放片托间形成能收纳竖向放置的方片衬底端角的端角收纳腔。本实用新型结构紧凑，能同时满足多个衬底的手工处理需求，提高对多个衬底的手工处理便捷性，减少衬底在工艺中产生污染，提高对衬底处理中的可靠性。