一种高性能衬底的制作工艺
授权
摘要
本发明公开了一种高性能衬底的制作工艺，一种高性能衬底的制作工艺，制作工艺包括线切、第一次粗磨、第一次退火、第二次粗磨、细磨、倒角、清洗、第二次退火、铜抛、抛光，采用超细磨机，对蓝宝石衬底进行双面细磨减薄，细磨过后把Warp控制在15μm，Bow控制在4μm以内；采用上述方案后，本发明提供的一种高性能衬底的制作工艺，最大化减少应力对细磨的变形影响，从而让衬底能在细磨能获得较高的平坦度以及较低的应力反应。
基本信息
专利标题 ：
一种高性能衬底的制作工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110744732A
申请号 ：
CN201910827851.6
公开（公告）日 ：
2020-02-04
申请日 ：
2019-09-03
授权号 ：
CN110744732B
授权日 ：
2022-04-15
发明人 ：
宋淀垣陈文海谢斌辉萧尊
申请人 ：
福建晶安光电有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市安溪县湖头镇横山村
代理机构 ：
北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
奚益民
优先权 ：
CN201910827851.6
主分类号 ：
B28D5/04
IPC分类号 ：
B28D5/04 B24B1/00 C30B33/02 C30B29/20 B08B3/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工，例如半导体材料的精加工；所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的，例如往复式工具
法律状态
2022-04-15 ：
授权
2020-02-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 5/04
申请日 : 20190903
申请日 : 20190903
2020-02-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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