双面抛光机用衬底片夹具
授权
摘要
本实用新型公开了双面抛光机用衬底片夹具，包括圆形的衬底板，所述衬底板的两个表面对称设置有直径与衬底板一致的放料板，所述放料板上关于中心对称设置有若干个圆形的定位槽，定位槽沿衬底板向下两个表面方向一一对应，定位槽内同轴放置有用与产品接触的柔性垫片，柔性垫片中心同轴贴附有与衬底板相触的垫高贴片，当所述定位槽内放入衬底片后，衬底片的表面高度高于放料板的高度，其技术方案要点是，利用双面抛光机压盘的压力，使衬底片发生弯曲形变，衬底片中部向外凸起，通过双面抛光机抛光减薄，从而实现精修BOW值的目的，具有精度高的特点，夹具装片简单，一次能装夹多块衬底板，更高效。
基本信息
专利标题 ：
双面抛光机用衬底片夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921885437.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-04
授权号 ：
CN211414771U
授权日 ：
2020-09-04
发明人 ：
苗泽民
申请人 ：
苏州爱彼光电材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道558号
代理机构 ：
苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
安纪平
优先权 ：
CN201921885437.2
主分类号 ：
B24B37/27
IPC分类号 ：
B24B37/27
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/27
工件载体
法律状态
2020-09-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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