有灵敏吸气层的表面声波气体传感器及其制造方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

表面声波气体传感器，具体是真空或氢气传感器，包括：压电基片(1)，至少一个气体灵敏材料层(6)安排在所述压电基片上的两个叉指式换能器(2，3)之间，并包含吸气材料，因此，被这种吸气材料吸收的分子可以改变在两个换能器(2，3)之间传输的信号的频率。本发明还涉及一种制造这种传感器的方法。

基本信息

专利标题：

有灵敏吸气层的表面声波气体传感器及其制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101073004A

申请号：

CN200580033873.1

公开（公告）日：

2007-11-14

申请日：

2005-10-17

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

马柯·阿米欧迪

申请人：

工程吸气公司

申请人地址：

意大利米兰

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

蒋世迅

优先权：

CN200580033873.1

主分类号：

G01N29/02

IPC分类号：

G01N29/02 G01N29/24 G01N29/30 G01N29/22 G01N33/00 C22C16/00