表面声波传感器方法和系统
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
这里公开了传感器系统和方法，其包括传感器芯片，在该传感器芯片上至少两个表面声波(SAW)感测元件中心定位在传感器芯片的第一侧(例如，前侧)。SAW感测元件占据传感器芯片第一侧上的共用区。被蚀刻的隔膜中心定位在与和该两个SAW感测元件相关联的第一侧相对的传感器的第二侧(即，后侧)，以便将传感器系统或传感器装置的机械应变集中在被蚀刻的隔膜中，从而提供高强度，高灵敏度以及其制造的容易度。
基本信息
专利标题 ：
表面声波传感器方法和系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101120237A
申请号 ：
CN200580048204.1
公开（公告）日 ：
2008-02-06
申请日 ：
2005-12-12
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S·J·马吉J·Z·刘J·D·库克
申请人 ：
霍尼韦尔国际公司
申请人地址 ：
美国新泽西州
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
张雪梅
优先权 ：
CN200580048204.1
主分类号 ：
G01L9/00
IPC分类号 ：
G01L9/00 G01L1/16
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
法律状态
2010-01-27 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2008-04-02 ：
实质审查的生效
2008-02-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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