与带电粒子接触的表面保护

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

在此描述了一种保护位于腔(10)中的反射镜(20)表面的方法，该腔暴露于极远紫外线(EUV)(14)辐射，该极远紫外线是由等离子体(12)产生的，等离子体发射极远紫外线和带电粒子两者。将有机分子供给该腔，其与极远紫外线相互作用以在反射镜表面上形成碳质沉积物涂层，由该等离子体发射的带电粒子冲击该沉积物，引起该沉积物从反射镜表面溅射，通过控制沉积物在该反射面上的沉积速率和从该反射镜表面除去该沉积物的速率之中的至少一种，可主动地控制该涂层厚度以防止带电粒子直接冲击到反射镜表面上和将反射镜表面由于形成涂层而致的反射率降低减至最小，该方法也适用于保护用来透射来自该腔的极远紫外线的窗表面。

基本信息

专利标题：

与带电粒子接触的表面保护

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101061435A

申请号：

CN200580039915.2

公开（公告）日：

2007-10-24

申请日：

2005-10-11

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

R·B·格兰特

申请人：

英国氧气集团有限公司

申请人地址：

英国英格兰萨里郡

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

张轶东

优先权：

CN200580039915.2

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/20

曝光及其设备

法律状态

2009-10-07 ：

发明专利申请公布后的视为撤回

2008-01-16 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 英国氧气集团有限公司
变更后权利人 : 爱德华兹有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 英国英格兰萨里郡
变更后权利人 : 英国西萨塞克斯郡
登记生效日 : 20071214

2007-12-19 ：

实质审查的生效

2007-10-24 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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