用于利用羰基金属前驱体沉积金属层的方法

专利权的终止

摘要

本发明描述了一种用于利用CO气体和稀释气体增大以羰基金属前驱体(52、152)形成的金属层(440、460)的沉积速率的方法(300)和沉积系统(1、100)。该方法(300)包括在处理系统(1、100)的处理室(10、110)中提供衬底(25、125、400、402)，形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体，在处理室(10、110)中稀释处理气体，以及将衬底(25、125、400、402)暴露于经稀释的处理气体以通过热化学气相沉积工艺在衬底(25、125、400、402)上沉积金属层(440、460)。沉积系统(1、100)包含衬底夹持器(20、120)、前驱体传输系统(105)、稀释气体源(37、137)和控制器(165)，其中衬底夹持器(20、120)被配置用于在具有蒸汽分配系统(30、130)的处理室(10、110)中支撑并加热衬底(25、125、400、402)，前驱体传输系统(105)被配置用于形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体并将处理气体引入蒸汽分配系统(30、130)，稀释

基本信息

专利标题：

用于利用羰基金属前驱体沉积金属层的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101072894A

申请号：

CN200580040101.0

公开（公告）日：

2007-11-14

申请日：

2005-10-03

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

铃木健二

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本东京都

代理机构：

北京东方亿思知识产权代理有限责任公司

代理人：

李剑

优先权：

CN200580040101.0

主分类号：

C23C16/16

IPC分类号：

C23C16/16 H01L21/768