改善彩色光阻特性的方法及彩色光阻剂
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明主要是在含有既定原色颜料(Pigment)的彩色光阻当中添加水溶性单体(water－soluble Monomer)和非水溶性单体(water－insoluble Monomer)的混合物，藉以提升既定光阻微影制程的显影速度，并且进一步获致相同或更好的残膜率百分比；以及，藉由水溶性单体(water－soluble Monomer)和非水溶性单体(water－insoluble Monomer)混合物的添加，达到提升显影图像(Developing pattern)对比(Contrast)的目的。
基本信息
专利标题 ：
改善彩色光阻特性的方法及彩色光阻剂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101008781A
申请号 ：
CN200610001851.3
公开（公告）日 ：
2007-08-01
申请日 ：
2006-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
郭光埌戴伟仁温世豪
申请人 ：
新应材股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾桃园县龙潭乡三和村新和路455号
代理机构 ：
北京申翔知识产权代理有限公司
代理人 ：
周春发
优先权 ：
CN200610001851.3
主分类号 ：
G03F7/004
IPC分类号 ：
G03F7/004 G03F7/027 G03F7/033
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/004
感光材料
法律状态
2012-04-18 ：
发明专利申请公布后的驳回
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101330730182
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利申请号 : 2006100018513
公开日 : 20070801
号牌文件序号 : 101330730182
IPC(主分类) : G03F 7/004
专利申请号 : 2006100018513
公开日 : 20070801
2008-07-02 ：
实质审查的生效
2007-08-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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