一种声表面波器件的制备方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种声表面波器件的制备方法，其工艺步骤如下：1.在压电基片上旋涂压印胶；2、制备声表面波器件压模并对其表面进行防粘连处理；3.将带有声表面波器件电极图形的压模压入压印胶中，通过加热、加压或紫外光辐照固化等压印方式得到电极的胶图形；4.分离压模和基片；5.利用氧等离子干法刻蚀残胶，直到露出基片；6.溅射或蒸发电极材料；7.剥离得到电极图形，完成声表面波器件的制备。
基本信息
专利标题 ：
一种声表面波器件的制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101022270A
申请号 ：
CN200610003586.2
公开（公告）日 ：
2007-08-22
申请日 ：
2006-02-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王丛舜牛洁斌涂德钰谢常青陈宝钦刘明
申请人 ：
中国科学院微电子研究所
申请人地址 ：
100029北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
段成云
优先权 ：
CN200610003586.2
主分类号 ：
H03H3/08
IPC分类号 ：
H03H3/08
法律状态
2009-07-15 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2007-10-17 ：
实质审查的生效
2007-08-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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