一种声表面波器件及其制备方法
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摘要
本发明公开了一种声表面波器件，将叉指换能器母线之间划分为间隙区域、边缘区域以及中间区域，从任一母线指向两条母线之间的方向依次为间隙区域、边缘区域以及中间区域。通过在压电基板与电极之间设置被电极覆盖的山丘层可以使得间隙区域的声波速度大于中间区域的声波速度，并且中间区域的声波速度大于边缘区域的声波速度。通过上述设置可以使得叉指换能器之间传播的波形过滤为活塞波形，从而将非活塞波形的其余波形过滤，进而有效减少声表面波器件的寄生模式，使得声表面波器件具有较高的品质因子。本发明还提供了一种声表面波器件的制备方法，通过该方法做制备的声表面波器件同样具有上述有益效果。
基本信息
专利标题 ：
一种声表面波器件及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109004914A
申请号 ：
CN201810757942.2
公开（公告）日 ：
2018-12-14
申请日 ：
2018-07-11
授权号 ：
CN109004914B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
彭波华胡念楚贾斌
申请人 ：
开元通信技术（厦门）有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市海沧区中国（福建）自由贸易试验区厦门片区（保税港区）海景南二路45号4楼03单元F0070
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
罗满
优先权 ：
CN201810757942.2
主分类号 ：
H03H9/64
IPC分类号 ：
H03H9/64 H03H9/02 H03H3/08
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2019-01-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/64
申请日 : 20180711
申请日 : 20180711
2018-12-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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