使用扫描激光SQUID显微镜的检查方法及装置

专利权的终止

摘要

本发明提供可确定故障部位的非破坏型的检查方法和装置。取得分别向第1、第2试料进行照射的激光进行扫描而得到的磁场分布的像(第1步骤)，当磁场分布的像存在差时，在向第1、第2试料的预定部位照射激光的状态下，利用磁场传感器扫描第1、第2试料，根据由此得到的磁场分布取得各个电流像(第2步骤)，取电流像间的差，可根据差像识别第1试料和所述第2试料的所述预定部位所相关的电流路径的差异。

基本信息

专利标题：

使用扫描激光SQUID显微镜的检查方法及装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1834675A

申请号：

CN200610059148.8

公开（公告）日：

2006-09-20

申请日：

2006-03-15

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

二川清

申请人：

恩益禧电子股份有限公司

申请人地址：

日本神奈川

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

陆锦华

优先权：

CN200610059148.8

主分类号：

G01R31/26

IPC分类号：

G01R31/26 G01R31/02 G01N27/82 H01L21/66

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01R

测量电变量；测量磁变量

G01R31/26

•单个半导体器件的测试

法律状态

2015-05-06 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101608732234
IPC(主分类) : G01N 27/82
专利号 : ZL2006100591488
申请日 : 20060315
授权公告日 : 20090708
终止日期 : 20140315

2010-12-22 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101055184644
IPC(主分类) : G01N 27/82
专利号 : ZL2006100591488
变更事项 : 专利权人
变更前 : 恩益禧电子股份有限公司
变更后 : 瑞萨电子株式会社
变更事项 : 地址
变更前 : 日本神奈川
变更后 : 日本神奈川

2009-07-08 ：

授权

2006-11-22 ：

实质审查的生效

2006-09-20 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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