匀胶显影机用机械手装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及轨道式匀胶/显影机中晶片的转移机构，具体为一种匀胶显影机用机械手装置。主轴外侧设有套筒，小齿轮II由旋转电机驱动，小齿轮II与大齿轮I通过皮带传动，大齿轮I通过连接部件与套筒固定，套筒上端与底板相连，主轴上部穿过底板，大齿轮II与主轴上部连接，支座置于底板上，大齿轮II与主轴上部连接，支座置于底板上，小齿轮I置于支座上，与机械手通过连接部件连接的小齿轮I与大齿轮II之间通过皮带传动。该机械手结构简单可靠而又合理，操作维修非常方便，且造价较低。

基本信息

专利标题：

匀胶显影机用机械手装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620090740.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-05-10

授权号：

CN2901376Y

授权日：

2007-05-16

发明人：

程金胜于海川张军侯宪华孟祥军

申请人：

沈阳芯源先进半导体技术有限公司

申请人地址：

110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号

代理机构：

沈阳科苑专利商标代理有限公司

代理人：

张志伟

优先权：

CN200620090740.X

主分类号：

G03F7/26

IPC分类号：

G03F7/26 H01L21/027

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/26

感光材料的处理及其设备

法律状态

2016-06-29 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101668960369
IPC(主分类) : G03F 7/26
专利号 : ZL200620090740X
申请日 : 20060510
授权公告日 : 20070516
终止日期 : 20150510

2007-05-16 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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