一种直写电子/光电子元器件的微细笔

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种直写电子/光电子元器件的微细笔。其结构为：减压装置位于笔帽内，并与位于笔帽顶部的施压气管相连，笔帽的下端与笔筒的上端活动、密封连接构成储料腔，储料腔用于储存需要沉积的物料，笔筒的下端为笔尖。该微细笔通过二个并联的压力控制装置与气源连接，并采用控制器控制两条气路的通断和微细笔相对基板的运动，构成直写装置。微细笔可用于制作电子元器件，还可用于制作光电子元器件，如聚合物光波导。结合该微细笔的结构特点和聚合物材料的特性，可将聚合物材料置于微细笔内，在基板上直写出光波导。本实用新型装置布线速度快，线宽范围大，制造和运行成本低，布线速度范围为2mm/s～15mm/s，线宽范围为0.06mm～2mm。

基本信息

专利标题：

一种直写电子/光电子元器件的微细笔

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620098191.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-07-31

授权号：

CN200950436Y

授权日：

2007-09-19

发明人：

曾晓雁李祥友王泽敏李金洪王小宝曹宇

申请人：

华中科技大学

申请人地址：

430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

代理机构：

华中科技大学专利中心

代理人：

曹葆青

优先权：

CN200620098191.0

主分类号：

H01L21/00

IPC分类号：

H01L21/00 H01L21/768 H01L21/288 H01L21/3205