一种直写电子/光电子元器件的微细笔
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种直写电子/光电子元器件的微细笔。其结构为:减压装置位于笔帽内,并与位于笔帽顶部的施压气管相连,笔帽的下端与笔筒的上端活动、密封连接构成储料腔,储料腔用于储存需要沉积的物料,笔筒的下端为笔尖。该微细笔通过二个并联的压力控制装置与气源连接,并采用控制器控制两条气路的通断和微细笔相对基板的运动,构成直写装置。微细笔可用于制作电子元器件,还可用于制作光电子元器件,如聚合物光波导。结合该微细笔的结构特点和聚合物材料的特性,可将聚合物材料置于微细笔内,在基板上直写出光波导。本实用新型装置布线速度快,线宽范围大,制造和运行成本低,布线速度范围为2mm/s~15mm/s,线宽范围为0.06mm~2mm。
基本信息
专利标题 :
一种直写电子/光电子元器件的微细笔
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620098191.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-07-31
授权号 :
CN200950436Y
授权日 :
2007-09-19
发明人 :
曾晓雁李祥友王泽敏李金洪王小宝曹宇
申请人 :
华中科技大学
申请人地址 :
430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
代理机构 :
华中科技大学专利中心
代理人 :
曹葆青
优先权 :
CN200620098191.0
主分类号 :
H01L21/00
IPC分类号 :
H01L21/00 H01L21/768 H01L21/288 H01L21/3205
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2014-10-08 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101587300452
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2006200981910
申请日 : 20060731
授权公告日 : 20070919
终止日期 : 20130731
号牌文件序号 : 101587300452
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2006200981910
申请日 : 20060731
授权公告日 : 20070919
终止日期 : 20130731
2007-09-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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