带有水套的拉晶炉
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要
本实用新型涉及一种在半导体晶体区熔过程中使用的带有水套的拉晶炉，包括炉壳、设置在炉壳中受热腔体周围的发热体、在发热体与炉壳之间填充的保温棉，在炉壳中受热腔体周围还设置有冷水套，冷水套通过管道与外界相接通，设置在炉壳中受热腔体周围的发热体为热电偶，其通过设置在炉壳上的热电偶接线柱以及电源接线柱与外界电源相连接，具有结构简单、熔区的温度梯度合理、可以明显提高半导体晶棒性能的优点。
基本信息
专利标题 ：
带有水套的拉晶炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620130175.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-10-23
授权号 ：
CN200968775Y
授权日 ：
2007-10-31
发明人 ：
刘宝成邢广轩郑俊霞
申请人 ：
河南恒昌电子有限公司
申请人地址 ：
461506河南省长葛市老城工业区
代理机构 ：
郑州异开专利事务所
代理人 ：
韩华
优先权 ：
CN200620130175.5
主分类号 ：
F27B17/00
IPC分类号 ：
F27B17/00 H01L21/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2010-01-20 ：
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-10-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
